Effect of melt flow rate and S/L interface on the P horizontal distribution in silicon
发表时间：2022-10-04 点击次数：
论文名称：Effect of melt flow rate and S/L interface on the P horizontal distribution in silicon
发表刊物：VACUUM
所属单位：材料科学与工程学院
卷号：190
ISSN号：0042-207X
关键字："Melt flow; Solid-liquid interface; n-type silicon; Doping control"
发表时间：2022-10-02
