New method for boron removal from silicon by electron beam injection
发表时间：2022-10-07 点击次数：
论文名称：New method for boron removal from silicon by electron beam injection
发表刊物：MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
所属单位：材料科学与工程学院
卷号：18
期号：1
页面范围：42-45
ISSN号：1369-8001
发表时间：2022-10-07
