发布时间：2024-05-04 点击次数：
论文类型：期刊论文
论文编号：384610
发表刊物：VACUUM
卷号：222
ISSN号：0042-207X
关键字：FABRICATION; FLOW; MECHANISM; NUMERICAL-SIMULATION; POOL; POROSITY FORMATION; PURIFICATION; SILICON; TEMPERATURE