论文名称：多晶硅铸锭中碳、氮、氧杂质特性的研究进展
论文类型：期刊论文
发表刊物：材料导报
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
卷号：29
期号：21
页面范围：15-20
ISSN号：1005-023X
关键字：多晶硅铸锭;性能;杂质;形貌;控制
摘要：在多晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入碳、氮、氧杂质元素,这些杂质会形成沉淀、复合体等缺陷,成为少数载流子的复合中心,缩短硅的少子寿命,从而降低硅片的太阳能转换效率.因此控制和降低铸锭中这3种杂质元素的含量对提高铸锭的性能和降低生产成本具有重要意义.阐述了碳、氮、氧元素的来源、分布,着重综述了铸锭中3种杂质元素的存在形态及不同形态对铸锭的影响,总结了降低3种杂质元素含量的方法,指出了目前研究的问题,并对铸锭中这3种杂质元素的研究趋势进行了展望.
发表时间：2015-11-10