论文名称：采用HF酸浸蚀沉降的方法从单晶硅切割废浆料中回收硅粉
论文类型：期刊论文
发表刊物：功能材料
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号：43
期号：11
页面范围：1479-1481,1485
ISSN号：1001-9731
关键字：切割废浆料;HF酸;浸蚀;硅回收
摘要：采用HF酸浸蚀沉降的方法回收单晶硅切割废浆料中的硅粉。系统地研究了在回收硅粉过程中,HF酸的浓度,HF酸处理的时间,以及在HF酸浸蚀沉降处理前的超声震荡时间等实验条件对回收率和纯度等性能的影响因素。研究表明,在HF酸浓度为2%,HF酸处理时间24h,超声震荡时间60min的条件下,回收得到的粉体中硅的纯度可以达到82%（质量分数）,且回收率可以达到62%的水平。通过此方法可以实现从切割废浆料中回收硅粉。
发表时间：2012-06-15