大连理工大学主页平台管理系统谭毅--中文主页-- 局部蒸发去除多晶硅中硼的方法及装置

个人信息

(教授)

博士生导师硕士生导师
学位：博士
性别：男
毕业院校：东京工业大学
所在单位：材料科学与工程学院
电子邮箱：tanyi@dlut.edu.cn

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发布时间：2019-03-09 点击次数：

第一作者：谭毅
发明设计人：董伟,姜大川,李国斌
申请号：CN200910220058.6
授权日期：2009-11-19
授权号：CN101708849A
授权日期： 2009-11-19