博士生导师 硕士生导师 学位:博士 性别:男 毕业院校:东京工业大学 所在单位:材料科学与工程学院 电子邮箱:tanyi@dlut.edu.cn
第一作者:谭毅 发明设计人:李亚琼,李佳艳,武深瑞 申请号:CN201110249734.X 授权日期:2011-08-29 授权号:CN102311121A 授权日期: 2011-08-29
上一条:一种高纯硅衬底下电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备
下一条:采用电子束注入去除多晶硅中杂质硼的方法