大连理工大学主页平台管理系统余隽 Multi-functional platform of CMOS-based tungsten microhotplate as Pirani, temperature, and gas sensors 余隽

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Multi-functional platform of CMOS-based tungsten microhotplate as Pirani, temperature, and gas sensors

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发布时间：2019-03-12

论文类型：期刊论文

发表时间：2015-01-01

发表刊物：Micromachines

卷号：6

期号：11

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