余隽
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专利名称:双层悬空梁微结构薄膜量热计
第一作者:余隽
发明设计人:吕安新,冯冲,唐祯安
申请号:CN200910010073.8
授权日期:2009-01-10
授权号:CN101475137
发布时间:2019-03-09
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