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徐征

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Fabrication of a three-layer SU-8 mould with inverted T-shaped cavities based on a sacrificial photoresist layer technique

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发表时间：2022-10-02

发表刊物：BIOMEDICAL MICRODEVICES

所属单位：机械工程学院

卷号：16

期号：5

页面范围：655-660

ISSN号：1387-2176

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