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论文类型：期刊论文

发表时间：2006-12-20

发表刊物：分析科学学报

收录刊物：ISTIC、CSCD

卷号：22

期号：6

页面范围：671-674

ISSN号：1006-6144

关键字：玻璃微流控芯片;湿法刻蚀;热键合

摘要：本文提出了一种在商品化的SG4009玻璃上制作50×50 mm微流控芯片的方法.SG4009玻璃表面有厚度570 nm的光刻胶S-1085和厚度145 nm的Cr层组成的掩蔽层,省去制作掩蔽层的时间和设备,降低了生产成本,缩短了生产周期.对芯片制作过程中的一些问题进行分析研究,提出相应的解决方案,保证了芯片的制作质量.