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专利名称：一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法

第一作者：杜立群

发明设计人：刘军山,徐征,刘冲,王启佳,张本状

申请号：CN201010133989.5

授权日期：2010-03-25

授权号：CN101812705A

发布时间：2019-03-09