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专利名称：一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法

第一作者：刘军山

发明设计人：舒振,赵欣悦,单晗,尹鹏和,zhangyue,杜立群,徐征

所属单位：机械工程学院

申请号：CN108584864A

授权号：CN201810375861.6

发布时间：2022-10-19