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专利名称：一种提高微电铸器件尺寸精度的超声处理方法

第一作者：杜立群

发明设计人：张本状,王启佳,刘冲,徐征,刘军山

所属单位：机械工程学院

申请号：CN101812705A

授权号：CN201010133989.5

发布时间：2022-10-19