徐征
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专利名称:一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法
第一作者:陈莉
发明设计人:徐征,刘军山,刘冲,尹鹏和
所属单位:机械工程学院
申请号:CN107144529A
授权号:CN201710418023.8
发布时间:2022-10-19
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