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专利名称：一种多层负性光刻胶模具制作方法

第一作者：刘军山

发明设计人：张栋,葛丹,尹鹏和,徐征,杜立群,刘冲,王立鼎

所属单位：机械工程学院

申请号：CN103353708A

授权号：CN201310237398.6

发布时间：2022-10-19