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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：东京大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械学院 305房间
联系方式：电话 0411-84707231 邮箱 zyu@dlut.edu.cn
电子邮箱：zyu@dlut.edu.cn
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微细孔、阵列孔及微细三维型腔的超声加工研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2011-02-20
发表刊物：电加工与模具
收录刊物：ISTIC
期号：1
页面范围：23-27
ISSN号：1009-279X
关键字：微细超声加工;微细阵列孔;微细三维型腔
摘要：利用自行开发的微细电火花与微细超声复合加工装置,对微孔超声加工中效率随孔深的变化、磨料颗粒尺寸对精度的影响等进行了实验研究,并采用恒加工力控制方式,在单晶硅100晶面实际完成了直径18μm圆孔和28μm×28μm方孔的超声加工、微细十字孔与阵列孔的超声反拷加工以及微细三维型腔的工具均匀损耗补偿分层铣削超声加工.