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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：东京大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械学院 305房间
联系方式：电话 0411-84707231 邮箱 zyu@dlut.edu.cn
电子邮箱：zyu@dlut.edu.cn
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关于微细超声波加工脆塑模式的判别标准的讨论
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论文类型：会议论文
发表时间：2013-10-25
页面范围：336-339
关键字：微细超声波加工;脆塑转变;表面粗糙度
摘要： 在微细超声波加工单晶硅<100>面过程中，通过适当调整加工参数，可以使加工表面呈现出塑性加工的特征，从而提高材料的表面质量。但目前对于微细超声波加工的去除模式并没有一个客观统一的判别方法，主要根据主观观察来判断加工表面属于塑性或脆性去除。通过大量实验分析，得出表面粗糙度Rpk可以作为判别微细超声波加工单晶硅<100>面材料去除模式的判别标准，并且通过实验进行了验证。