Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2016-10-25

Journal: 机械工程学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 52

Issue: 22

Page Number: 15-23,30

ISSN: 0577-6686

Key Words: 压电力传感器;接触刚度;分形理论;结构函数;石英;硅酸镓镧

Abstract: 以压电力传感器为核心的多分量测量系统是航空、航天等领域重要的力学测量装置.压电力传感器中晶片与电极结合面接触刚度是基础性能参数,对压电力传感器的分载效应及灵敏度,多分量测量系统的整体刚度及静、动态性能有直接影响.由于尚无对该参数的研究,导致在设计封装压电力传感器过程中缺少相应的理论依据,在使用多分量测量系统时存在标定困难等问题.针对以上问题,研究晶片与电极结合面接触刚度的影响因素,建立基于分形理论的接触刚度模型,优化了晶面表面形貌、压电材料、电极材料、预紧力等参数.在此基础上,研究接触刚度对传感器性能——刚度、灵敏度、固有频率等影响,提出一种以接触刚度为约束的晶片表面形貌优化方法.基于结构函数法,建立分形理论与实际工程测量参数的联系,通过两种压电晶体——石英与硅酸镓镧,四种电极材料—一钛合金、不锈钢、黄铜、铝,试验验证了理论模型.试验表明,优化晶片表面分形参数、提高预紧力、选用弹性模量小的电极有助于提高晶片与电极接触刚度,进而提高传感器的整体刚度、灵敏度和固有频率.研究为高性能压电力传感器的设计提供了理论参考.