|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：天津大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械设计及理论
办公地点：机械工程学院知方楼5055
联系方式：zzy@dlut.edu.cn
电子邮箱：zzy@dlut.edu.cn
扫描关注
基于芯片制造的超薄硅片晶圆超窄缝切割关键技术
点击次数：
负责人姓名：张振宇
项目来源：地市厅局（含县）项目
项目状态：结题
项目来源单位：大连市科技局
项目性质：纵向
项目批准号：2009A18GX014
立项时间：2009-01-01
计划完成时间：2011-12-31
开始日期：2010-01-01
结项日期：2023-09-13