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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：天津大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械设计及理论
办公地点：机械工程学院知方楼5055
联系方式：zzy@dlut.edu.cn
电子邮箱：zzy@dlut.edu.cn
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一种半导体晶圆高效纳米精度减薄方法
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第一作者：张振宇
发明设计人：张献忠,徐朝阁,郭东明
申请号：CN201110358534.8
授权日期：2011-11-14
授权号：CN102407483A