武锦涛
个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别:男
毕业院校:浙江大学
学位:博士
所在单位:化工学院
学科:化学工程. 流体机械及工程. 化工过程机械
办公地点:化环生实验楼H-315
联系方式:0411-84986275
电子邮箱:wujt75@dlut.edu.cn
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改良西门子法多晶硅生产工艺关键设备
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论文类型:期刊论文
发表时间:2013-07-28
发表刊物:当代化工
收录刊物:ISTIC
期号:7
页面范围:912-916,966
ISSN号:1671-0460
关键字:太阳能级多晶硅;改良西门子法;生产设备;节能高效
摘要: 随着人们对太阳能资源的开发和深入研究,作为其原材料供给的多晶硅行业也得到迅猛发展。在对多晶硅生产工艺改进的同时,其生产设备也得到相应的改进和更新。就改良西门子法多晶硅生产过程中的不同工序和不同工艺的主要生产设备进行探讨,比较其优缺点,并介绍相应的改进方法以获得更优的生产效率。