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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：浙江大学
学位：博士
所在单位：化工学院
学科：化学工程. 流体机械及工程. 化工过程机械
办公地点：化环生实验楼H-315
联系方式：
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Mechanism of Adhesion Particle Removal Using Supercritical CO2 and Simulation of Deep Groove Cleaning in Semiconductor
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论文类型：期刊论文
论文编号：583281
发表时间：2025-04-16
发表刊物：LANGMUIR
卷号：41
期号：16
页面范围：10590-10604
ISSN号：0743-7463
关键字：COLLOIDAL PARTICLES; CONTACT DEFORMATIONS; DETACHMENT; HAMAKER CONSTANTS; SURFACE