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Date of Publication:2022-10-10

Journal:实验科学与技术

Affiliation of Author(s):物理学院

Volume:18

Issue:03

Page Number:134-139

Abstract:设计了一种用于玻璃厚度测量的空间相位调制型激光干涉仪,该干涉仪主要由垂直腔面发射激光器（VCSEL）,单模光纤和线阵电荷耦合器件（CCD）组成,玻璃上、下表面的反射光产生双光束干涉,生成的空间相位调制干涉图像被CCD探测,图像的空间频率与玻璃厚度成比例,厚度测量分辨率可以达到纳米量级。该玻璃测厚教学实验装置具有体积小和成本低等优势,涉及光学干涉、激光原理、光电探测、现场可编程门阵列（FPGA）、电子电路、虚拟仪器、数字信号处理等诸多内容,适合于高年级本科生的教学实验。

Note:新增回溯数据