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个人信息Personal Information
高级工程师
硕士生导师
任职 : 微电子实验教学中心主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：集成电路学院
学科：微电子学与固体电子学. 光学工程
办公地点：辽宁省大连市大连经济技术开发区图强街321号大连理工大学开发区校区教学楼C区503室
联系方式：0411-62273210
电子邮箱：shjiank@dlut.edu.cn
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A preliminary study of SF6 based inductively coupled plasma etching techniques for beta gallium trioxide thin film
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发表时间：2022-10-05
发表刊物：MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
所属单位：微电子学院
卷号：39
页面范围：582-586
ISSN号：1369-8001