基于CMOS工艺的复合真空传感器系统研究
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负责人姓名：汪家奇
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：青年科学基金项目
项目状态：结题
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：61201035
立项时间：2012-09-25
计划完成时间：2015-12-31
开始日期：2013-01-01
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负责人姓名：汪家奇
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：青年科学基金项目
项目状态：结题
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：61201035
立项时间：2012-09-25
计划完成时间：2015-12-31
开始日期：2013-01-01