集成电路芯片制造关键工艺虚拟仿真实验项目之刻蚀工艺项目
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负责人姓名：申人升
项目参与人员：梁大成,郭吉洪,王彦霞,骆英民,刘勐,赵宇,柳阳,夏晓川,汪家奇,梁红伟
项目来源：企事业单位委托科技项目
项目状态：结题
项目来源单位：北京润尼尔网络科技有限公司
项目性质：横向
立项时间：2020-04-29
计划完成时间：2021-04-30
开始日期：2020-04-29
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负责人姓名：申人升
项目参与人员：梁大成,郭吉洪,王彦霞,骆英民,刘勐,赵宇,柳阳,夏晓川,汪家奇,梁红伟
项目来源：企事业单位委托科技项目
项目状态：结题
项目来源单位：北京润尼尔网络科技有限公司
项目性质：横向
立项时间：2020-04-29
计划完成时间：2021-04-30
开始日期：2020-04-29