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论文类型：期刊论文

发表时间：2017-12-28

发表刊物：实验室科学

卷号：20

期号：6

页面范围：10-12,15

ISSN号：1672-4305

关键字：光刻系统平台;集成电路技术;实验设计

摘要：目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验.大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、 搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要.介绍了光刻实验平台系统的设备模块构成以及知识体系,开展实验的前期准备、 课堂组织、 注意事项.此外,给出了部分结果,分析了课程实施的主要困难与解决方案.