自制集成皮拉尼真空传感器系统在半导体加工设备中的应用
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论文类型:期刊论文
发表时间:2018-02-07
发表刊物:实验技术与管理
期号:01
页面范围:92-94+103
ISSN号:1002-4956
关键字:半导体加工设备;真空传感器;皮拉尼传感器
摘要:为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感105~10-1 Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路,构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统,可直接用于半导体设备腔室中真空度的测量。