汪家奇

个人信息Personal Information

工程师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:集成电路学院

学科:微电子学与固体电子学

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论文成果

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自制集成皮拉尼真空传感器系统在半导体加工设备中的应用

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论文类型:期刊论文

发表时间:2018-02-07

发表刊物:实验技术与管理

期号:01

页面范围:92-94+103

ISSN号:1002-4956

关键字:半导体加工设备;真空传感器;皮拉尼传感器

摘要:为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感105~10-1 Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路,构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统,可直接用于半导体设备腔室中真空度的测量。