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论文类型：期刊论文

发表时间：2013-01-15

发表刊物：传感技术学报

收录刊物：Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：26

期号：1

页面范围：31-33

ISSN号：1004-1699

关键字：皮拉尼传感器;CMOS 工艺;MEMS;微热板

摘要：皮拉尼传感器广泛用于105 Pa～10-1 Pa的粗真空测量.本文在基于MEMS工艺的皮拉尼传感器的基础上研制了一款与标准CMOS 工艺兼容的皮拉尼传感器.它采用钨微热板作为敏感元件,工作在恒电流模式下.该传感器利用0.5μm标准CMOS工艺加工,对10-1Pa～ 105 Pa的气压有响应,尤其对1Pa～100Pa气压具有线性响应.