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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械电子工程. 测试计量技术及仪器. 精密仪器及机械
办公地点：机械工程学院6120室
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Development of a precision vertical planar stage as a programmable planar artefact
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论文类型：期刊论文
论文编号：371233
发表时间：2023-08-18
发表刊物：MEASUREMENT
卷号：217
ISSN号：0263-2241
关键字：6-DEGREE-OF-FREEDOM MEASUREMENT SYSTEM; ACCURACY; CALIBRATION; COMPENSATION; ERROR MEASUREMENT SYSTEM; HIGH-RESOLUTION; LASER INTERFEROMETER; MODEL; PRODUCT