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论文类型：期刊论文

发表时间：2016-07-28

发表刊物：中国激光

收录刊物：PKU、ISTIC

期号：10

页面范围：1-12

ISSN号：0258-7025

关键字：光纤;压力;EFPI;传感器;石英毛细管

摘要：为了简化非本征型法布里-珀罗干涉（EFPI）传感器的制作工艺，充分发挥其压力测量高精确度的优势，便于大规模工业化应用。介绍了一种简单结构的熔接式全石英光纤 EFPI 高静压传感器，对传感器的压力效应进行了理论分析，给出传感探头设计结构和制作过程。和一般的传统 EFPI 传感器相比，此传感器具有大腔长，结构简单，制作工艺简易，应用灵活方便等优点，可以用于较高静态压力的测量。建立了传感解调系统，对压力进行了测试，测量精确度高，稳定性好。同时进行了温度敏感度测量实验，温度交叉敏感度低。该传感器在 0-20MPa 压力测量范围内，压力腔长灵敏度可以达到 21nm/MPa,连续 10 小时动态测量条件下，测量偏差为 0.2%FS。