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论文类型：期刊论文

发表时间：2016-01-01

发表刊物：中国激光

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD

卷号：43

期号：10

页面范围：230-236

ISSN号：0258-7025

关键字：传感器; 压力; 非本征型法布里-珀罗干涉仪; 石英毛细管

摘要：介绍了一种结构简单的熔接式全石英光纤非本征型法布里-珀罗干涉仪(EFPI)高静压传感器,对传感器的压力效应进行了理论分析,给出了传感器的设计结构
   和制作过程。和传统EFPI传感器相比,该传感器具有长腔长、结构简单、制作工艺简易、应用灵活方便等优点,可以用于较高静态压力的测量。建立了传感解调
   系统,对压力进行了测试,测量精确度高,稳定性好。同时进行了温度敏感度测量实验,温度敏感系数约为0.72
   nm/°C,传感器的腔长温度线性度好,结果显示传感器温度交叉敏感度低。在0?20 MPa压力测量范围内,该传感器的压力腔长灵敏度可以达到21
   nm/MPa,连续10 h动态测量条件下,测量偏差为0.2%FS。