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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职：光电工程与仪器科学学院副院长
其他任职：Faculty director of Instrumentation Science
性别：男
毕业院校：日本富山大学
学位：博士
所在单位：光电工程与仪器科学学院
学科：微电子学与固体电子学. 测试计量技术及仪器
办公地点：厚望楼 318
联系方式：
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一种光刻友好型冗余金属填充方法
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第一作者：陈晓明
发明设计人：张建伟,朱慧超,李松松,武文琦
申请号：CN201510304216.1
授权日期：2015-06-04
授权号：CN104951600A