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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：日本东北大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
电子邮箱：w-dong@dlut.edu.cn
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电子束熔炼多晶硅对杂质铝去除机制研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2010-08-20
发表刊物：材料工程
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
期号：8
页面范围：8-11
ISSN号：1001-4381
关键字：多晶硅;铝;电子束熔炼
摘要：采用电子束熔炼方式,利用铝的蒸发系数较大的特点通过蒸发去除硅中的杂质铝.将实验的实测值与理论计算的蒸发量、损失量等加以比较,得到了铝在电子束下的蒸发去除速率由其在硅中扩散过程所决定的结论,并对铝的去除量与硅的损失量之间关系进行分析.