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一种高纯硅衬底下电子束熔炼多晶硅的方法及设备

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第一作者：谭毅
发明设计人：刘应宽,盛之林,李佳艳,石爽,刘振远,董伟,姜大川
授权日期：2011-08-03
授权号：201110220767.1

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