Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2011-01-15

Journal: 物理学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 60

Issue: 1

Page Number: 397-402

ISSN: 1000-3290

Key Words: 微腔放电;等离子体模拟;流体模型

Abstract: 本文采用二维自洽完全流体模型,针对阳极为通孔的高气压微腔放电结构,研究了微腔放电的参数特性.数值计算得到了氩气压强为100 Torr,放电稳态时的电势分布、电子数密度分布和电子温度分布等重要参数.模拟结果表明放电区存在显著的阴极鞘层结构,电子数密度的峰值达到1020m-3,电子温度的量级为几个eV至十几eV,该结论与实验结果相一致.数值模拟合理的解释了微腔放电的基本原理.