Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2013-08-15

Page Number: 60-60

Key Words: 微波放电;微电子器件;均匀表面;超燃冲压发动机;放电等离子体;科技难题;等离子体处理;介质分界面;高密度等离子体;表面等离激元;

Abstract: 引言最近几年,低功率微波放电的研究获得了足够重视,原因在于微波放电具有潜在的应用价值。例如,超燃冲压发动机点火技术,其燃料高速流动,传统的点火技术难于奏效,微波放电点燃高速燃料的研究可以解决该科技难题;再如,低气压大面积均匀表面波等离子体(SWP)源的开发,使得大规模集成微电子器件的等离子体处理能效得以提高;等等。这些应用都是源于微波放电等离子体具有密度大、活性高及温度