Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2017-08-29

Journal: 无机材料学报

Included Journals: CSCD、EI、SCIE、Scopus

Volume: 32

Issue: 09

Page Number: 1-5

ISSN: 1000-324X

Key Words: 金刚石线锯;多晶硅;制绒;反射率

Abstract: 晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤。本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响。此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液。而且对两种制绒方法效果进行了对比。研究获得的最优绒面结构及反射率结果的实验条件为:氢氟酸浓度4.6 mol/L、硝酸银浓度0.02 mol/L,室温下反应90 min,得到的平均反射率为8%,远低于目前多晶硅片制绒生产标准。