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个人信息Personal Information
工程师
性别：男
毕业院校：上海交通大学
学位：硕士
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：phyin@dlut.edu.cn
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镍 基 阵 列 微 针 的 薄 胶 微 电 铸 制 备 工 艺
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发表时间：2024-10-30
发表刊物：Optics and Precision Engineering
卷号：32
期号：16
页面范围：2492-2503
ISSN号：1004-924X
关键字：Anisotropic etching; Average deviation; Crystal whiskers; Curvature radius; High mechanical strength; Lateral erosion compensation; Microelectroforming; Microelectroforming technique; Microneedle arrays; Microneedles; Monocrystalline silicon; Ni microneedle array; Photoresists; Silicon compounds; Silicon template
CN号：22-1198/TH