镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺
点击次数：
论文类型：期刊论文
论文编号：400846
发表时间：2024-01-01
发表刊物：光学精密工程
卷号：32
期号：16
页面范围：2492-2503
ISSN号：1004-924X
关键字：侧蚀量补偿; 微电铸工艺; 硅模具; 阵列镍微针
CN号：22-1198/TH
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论文编号：400846
发表时间：2024-01-01
发表刊物：光学精密工程
卷号：32
期号：16
页面范围：2492-2503
ISSN号：1004-924X
关键字：侧蚀量补偿; 微电铸工艺; 硅模具; 阵列镍微针
CN号：22-1198/TH