尹鹏和

个人信息Personal Information

工程师

性别:男

毕业院校:上海交通大学

学位:硕士

所在单位:机械工程学院

电子邮箱:phyin@dlut.edu.cn

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论文成果

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MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较

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发表时间:2022-10-07

发表刊物:传感器技术

所属单位:机械工程学院

期号:10

页面范围:15-17,21

ISSN号:1000-9787