Fabrication of a flexible polyimide-based electrostatically actuated MEMS relay
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发表时间:2022-10-02
发表刊物:JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
所属单位:机械工程学院
卷号:28
期号:10
ISSN号:0960-1317
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发表时间:2022-10-02
发表刊物:JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
所属单位:机械工程学院
卷号:28
期号:10
ISSN号:0960-1317