卢一平
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职:材料科学与工程学院院长、党委副书记
其他任职:辽宁省高熵合金材料工程研究中心常务副主任、大连理工大学滇西产业发展研究院先进材料制备及装备技术工程研究中心主任
性别:男
毕业院校:西北工业大学
学位:博士
所在单位:材料科学与工程学院
学科:材料加工工程. 材料学. 材料物理与化学
办公地点:辽宁省凝固控制与数字化制备技术重点实验室315室
联系方式:0411-84709400
电子邮箱:luyiping@dlut.edu.cn
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多晶硅真空电磁感应熔炼除磷及其过程研制
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论文类型:期刊论文
发表时间:2011-01-01
发表刊物:功能材料
收录刊物:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号:42
期号:9
页面范围:1551-1554
ISSN号:1001-9731
关键字:多晶硅; 电磁感应熔炼; 动力学; 热力学
摘要:磷是多晶硅中的主要杂质元素之一,目前采用的酸洗以及定向凝固工艺无法将其含量降低到太阳能级多晶硅所要求的范围之内。采用自行设计的真空电磁感应熔炼炉
及定向凝固炉研究了真空度、精炼时间和精炼温度对除磷效果的影响。研究结果表明当炉内压强为5.0*10~(-1)Pa时,精炼温度和时间分别为
1723K和60min时,精炼后硅中磷含量由原来的2.0
*10~(-5)(质量分数)降低到1.8*10~(-6)(质量分数);研究推导出了在压强为5*10~(-1)Pa下磷的含量随精炼时间和精炼温度的
关系式如下:X_P=X_P~0exp-1.43*10~(-4)-3.1*10~(-7)[(T
)t]同时还对真空感应熔炼除磷过程进行了热力学与动力学分析