刘勐

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高级工程师

性别:男

毕业院校:北京大学

学位:博士

所在单位:集成电路学院

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论文成果

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光刻系统实验教学平台搭建及课程开展

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发表时间:2022-10-04

发表刊物:实验室科学

所属单位:物理学院

卷号:20

期号:6

页面范围:10-12,15

ISSN号:1672-4305

备注:新增回溯数据