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姜大川

Associate Professor
Supervisor of Master's Candidates


Title : 中国产学研合作促进会常务理事
Gender:Male
Alma Mater:大连理工大学
Degree:Doctoral Degree
School/Department:材料科学与工程学院
Discipline:Materials Science
Business Address:新三束实验室209
Contact Information:0411-84709784
E-Mail:jdc@dlut.edu.cn
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电子束熔炼多晶硅对杂质铝去除机制研究

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-08-20

Journal:材料工程

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Issue:8

Page Number:8-11

ISSN No.:1001-4381

Key Words:多晶硅;铝;电子束熔炼

Abstract:采用电子束熔炼方式,利用铝的蒸发系数较大的特点通过蒸发去除硅中的杂质铝.将实验的实测值与理论计算的蒸发量、损失量等加以比较,得到了铝在电子束下的蒸发去除速率由其在硅中扩散过程所决定的结论,并对铝的去除量与硅的损失量之间关系进行分析.

 

Address: No.2 Linggong Road, Ganjingzi District, Dalian City, Liaoning Province, P.R.C., 116024