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姜大川

Associate Professor
Supervisor of Master's Candidates


Other Post:青岛市青年科学家协会秘书长/中国产学研合作促进会常务理事
Gender:Male
Alma Mater:大连理工大学
Degree:Doctoral Degree
School/Department:材料科学与工程学院
Discipline:Materials Science
Business Address:材料学院（知远楼）B509
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电子束束流密度对冶金硅中杂质磷的影响

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Indexed by:Journal Article

Date of Publication:2010-03-20

Journal:材料工程

Included Journals:Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Issue:3

Page Number:18-21

ISSN:1001-4381

Key Words:电子束;冶金硅;去除磷

Abstract:采用电子束设备对多晶硅进行熔炼,设计熔炼功率和时间相同、降束时间不同的三组实验,评价硅中杂质磷在熔炼及凝固过程中的去除效果.根据熔炼后硅锭的杂质分布特点推导出表征硅中杂质磷的去除率公式,经计算得到去除率为80%以上,并由磷的蒸发方程计算出在本实验中当电子束熔炼多晶硅锭的束流密度在235mA之上时,硅中的磷都可以被蒸发去除.

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