- 定向凝固提纯对工业硅杂质及电阻率的影响
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- 论文类型： 期刊论文
- 发表时间： 2011-01-01
- 发表刊物： 机械工程材料
- 收录刊物： PKU、ISTIC、CSCD
- 卷号： 35
- 期号： 3
- 页面范围： 52
- ISSN号： 1000-3738
- 关键字： 定向凝固; 多晶硅; 分凝效应; 电阻率
- 摘要： 以1101工业硅为原料, 采用真空感应熔炼加定向凝固提纯方法制备了多晶硅铸锭,
通过电感耦合等离子体发射光谱仪、扫描电镜、四探针电阻率仪、导电类型测试仪等对其化学成分、组织、电阻率及导电类型等进行了分析. 结果表明:
多晶硅锭中约50％的区域纯度达到99.99％, 其中铁、铜、镍等金属杂质去除率均在90％以上; 分凝效应使得杂质元素重新分布,
导致粗大柱状晶在铸锭54％高度处停止生长, 此时其成分及电阻率发生突变, 导电类型也由P型转变为N型
