- 多晶硅铸锭中碳、氮、氧杂质特性的研究进展
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- 论文类型： 期刊论文
- 发表时间： 2015-11-10
- 发表刊物： 材料导报
- 收录刊物： PKU、ISTIC、CSCD
- 卷号： 29
- 期号： 21
- 页面范围： 15-20
- ISSN号： 1005-023X
- 关键字： 多晶硅铸锭;性能;杂质;形貌;控制
- 摘要： 在多晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入碳、氮、氧杂质元素,这些杂质会形成沉淀、复合体等缺陷,成为少数载流子的复合中心,缩短硅的少子寿命,从而降低硅片的太阳能转换效率.因此控制和降低铸锭中这3种杂质元素的含量对提高铸锭的性能和降低生产成本具有重要意义.阐述了碳、氮、氧元素的来源、分布,着重综述了铸锭中3种杂质元素的存在形态及不同形态对铸锭的影响,总结了降低3种杂质元素含量的方法,指出了目前研究的问题,并对铸锭中这3种杂质元素的研究趋势进行了展望.
