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多晶硅铸锭中碳、氮、氧杂质特性的研究进展

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2015-11-10

Journal:材料导报

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:29

Issue:21

Page Number:15-20

ISSN No.:1005-023X

Key Words:多晶硅铸锭;性能;杂质;形貌;控制

Abstract:在多晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入碳、氮、氧杂质元素,这些杂质会形成沉淀、复合体等缺陷,成为少数载流子的复合中心,缩短硅的少子寿命,从而降低硅片的太阳能转换效率.因此控制和降低铸锭中这3种杂质元素的含量对提高铸锭的性能和降低生产成本具有重要意义.阐述了碳、氮、氧元素的来源、分布,着重综述了铸锭中3种杂质元素的存在形态及不同形态对铸锭的影响,总结了降低3种杂质元素含量的方法,指出了目前研究的问题,并对铸锭中这3种杂质元素的研究趋势进行了展望.

Pre One:Metal micro-droplets deposition forming technology based on Pulsated Orifice Ejection Method

Next One:Behavior of carbon in electron beam melted mc-silicon