大连理工大学主页平台管理系统徐琴琴--中文主页-- Reaction dynamics simulation of MoO2 cluster precursor with melting, deoxygenation and sulfuration for MoS2 growth by chemical vapor deposition

徐琴琴

副教授博士生导师硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：化工学院
学科：化工过程机械. 流体机械及工程. 安全科学与工程
办公地点：西部校区H315
联系方式：qinqinxu@dlut.edu.cn
电子邮箱：qinqinxu@dlut.edu.cn

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Reaction dynamics simulation of MoO2 cluster precursor with melting, deoxygenation and sulfuration for MoS2 growth by chemical vapor deposition

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第一作者：王启搏

通讯作者：徐琴琴,银建中,韩振华,程通

合写作者：韩振华,程通

发表时间：2024-09-05

发表刊物：APPLIED SURFACE SCIENCE

卷号：669

ISSN号：0169-4332

关键字：CVD; ENERGY; FIELD; LAYERS; MOLYBDENUM-DISULFIDE; MONOLAYER MOS2; REAXFF; SULFIDATION; SULFURIZATION

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